ご利用上の注意
・本ページの物性値・特性情報は、JIS・ISO・ASTM等の公的規格およびメーカー技術資料を参照した参考情報です。実際の材料選定・使用にあたっては、必ず材料メーカーの公式データシートをご確認の上、専門家にご相談ください。
・本データベースは、設計・開発段階での材料比較・選定にお役立ていただけるよう、幅広い材料の物性情報を掲載しています。図面加工のご依頼やおすすめ材料のご提案は、お気軽に
お問い合わせください。
※ 本ページに記載の商標は各社の登録商標または商標です。Inconel®, Monel®は Special Metals Corporation、Hastelloy®は Haynes International, Inc.、Vespel®, Kapton®, Kalrez®, Kevlar®は DuPont、Delrin®は TJC、Teflon™, Viton™は The Chemours Company、ジュラコン®は ポリプラスチックス株式会社、MCナイロン®は 三菱ケミカルアドバンスドマテリアルズ株式会社の商標です。
規格
材料としての特徴
PIの耐熱性とPTFEの低摩擦性を両立。真空・クリーンルーム環境で使用可能な摺動部品材料
主な用途
半導体製造装置の摺動部品、真空シール、軸受ブッシュ、ウェハ搬送部品
材料選定のポイント
高温・真空環境での低摩擦が必要な場合。導電性が不要な摺動部品に最適
この材料のメリット・デメリット
※ 以下は一般的な特性に基づく参考情報です。実際の性能は製造条件・使用環境により異なる場合があります。
メリット
優れた耐熱性(260°C)、低摩擦係数、低アウトガス、寸法安定性
| 項目 | 値 | 条件 | 出典 |
|---|
| 引張強さ | 85 MPa | — | — |
| 伸び | 8 % | — | — |
| 硬さ(ロックウェル) | M95 | — | — |
熱的性質
| 項目 | 値 | 条件 | 出典 |
|---|
| 連続使用温度 | 260 °C | — | — |
| 熱伝導率 | 0.35 W/(m·K) | — | — |
電気的性質
| 項目 | 値 | 条件 | 出典 |
|---|
| 体積抵抗率 | 1×10^15 Ω·cm | — | — |
| 絶縁破壊強度 | 20 kV/mm | — | — |
物理的性質
規制適合
出典
| 最終更新 | 2025-12-07T10:37:51.299Z |