石英ガラス (溶融シリカ)

Fused Silica / Quartz Glass / SiO2

セラミック
ご利用上の注意
・本ページの物性値・特性情報は、JIS・ISO・ASTM等の公的規格およびメーカー技術資料を参照した参考情報です。実際の材料選定・使用にあたっては、必ず材料メーカーの公式データシートをご確認の上、専門家にご相談ください。
・本データベースは、設計・開発段階での材料比較・選定にお役立ていただけるよう、幅広い材料の物性情報を掲載しています。図面加工のご依頼やおすすめ材料のご提案は、お気軽にお問い合わせください。
※ 本ページに記載の商標は各社の登録商標または商標です。Inconel®, Monel®は Special Metals Corporation、Hastelloy®は Haynes International, Inc.、Vespel®, Kapton®, Kalrez®, Kevlar®は DuPont、Delrin®は TJC、Teflon™, Viton™は The Chemours Company、ジュラコン®は ポリプラスチックス株式会社、MCナイロン®は 三菱ケミカルアドバンスドマテリアルズ株式会社の商標です。

材料としての特徴

  • 極めて低い熱膨張係数（0.55ppm/K）
  • 高い光透過性（UV～IR領域）
  • 優れた耐薬品性（HF以外）
  • 高純度グレードで半導体製造に使用
  • 熱衝撃に強い

主な用途

  • 半導体製造装置（チャンバー窓、チューブ）
  • 光学部品（レンズ、プリズム）
  • 分析機器（キュベット、セル）
  • 高温炉部品
  • 紫外線照射装置

材料選定のポイント

高温・高純度・光透過が必要な用途に最適。HFには弱いので注意。低熱膨張が必要な精密光学部品にも。

この材料のメリット・デメリット

※ 以下は一般的な特性に基づく参考情報です。実際の性能は製造条件・使用環境により異なる場合があります。

メリット

  • 極低熱膨張
  • 高純度
  • 光透過性
  • 耐熱性
  • 耐薬品性

デメリット

  • 脆い
  • HFに弱い
  • 加工コスト高い
  • 熱伝導率低い

機械的性質

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