スーパーインバー (超精密用)
Super Invar / 32-5 / 低膨張合金
材料としての特徴
- インバー36より更に低い熱膨張
- Co添加でCTE更に低減
- 常温でほぼ膨張ゼロ
- 高精度測定の究極材料
- 使用温度範囲が狭い
主な用途
- 半導体露光装置基準フレーム
- レーザー干渉計構造
- 超精密測定機
- 宇宙望遠鏡構造
- 原子時計部品
材料選定のポイント
インバー36でも不十分な超精密用途に。コスト度外視の寸法安定性要求に。
この材料のメリット・デメリット
※ 以下は一般的な特性に基づく参考情報です。実際の性能は製造条件・使用環境により異なる場合があります。
メリット
- 究極の低膨張
- 寸法安定性
デメリット
- 使用温度範囲狭い
- 高価
- 耐食性低い