スーパーインバー (超精密用)

Super Invar / 32-5 / 低膨張合金

金属
ご利用上の注意
・本ページの物性値・特性情報は、JIS・ISO・ASTM等の公的規格およびメーカー技術資料を参照した参考情報です。実際の材料選定・使用にあたっては、必ず材料メーカーの公式データシートをご確認の上、専門家にご相談ください。
・本データベースは、設計・開発段階での材料比較・選定にお役立ていただけるよう、幅広い材料の物性情報を掲載しています。図面加工のご依頼やおすすめ材料のご提案は、お気軽にお問い合わせください。
※ 本ページに記載の商標は各社の登録商標または商標です。Inconel®, Monel®は Special Metals Corporation、Hastelloy®は Haynes International, Inc.、Vespel®, Kapton®, Kalrez®, Kevlar®は DuPont、Delrin®は TJC、Teflon™, Viton™は The Chemours Company、ジュラコン®は ポリプラスチックス株式会社、MCナイロン®は 三菱ケミカルアドバンスドマテリアルズ株式会社の商標です。

材料としての特徴

  • インバー36より更に低い熱膨張
  • Co添加でCTE更に低減
  • 常温でほぼ膨張ゼロ
  • 高精度測定の究極材料
  • 使用温度範囲が狭い

主な用途

  • 半導体露光装置基準フレーム
  • レーザー干渉計構造
  • 超精密測定機
  • 宇宙望遠鏡構造
  • 原子時計部品

材料選定のポイント

インバー36でも不十分な超精密用途に。コスト度外視の寸法安定性要求に。

この材料のメリット・デメリット

※ 以下は一般的な特性に基づく参考情報です。実際の性能は製造条件・使用環境により異なる場合があります。

メリット

  • 究極の低膨張
  • 寸法安定性

デメリット

  • 使用温度範囲狭い
  • 高価
  • 耐食性低い

機械的性質

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