FFKM (パーフルオロエラストマー)
Perfluoroelastomer / Kalrez / Chemraz
規格
| ASTM | D1418 |
|---|
材料としての特徴
- 最高の耐薬品性(PTFEに匹敵)
- 最高の耐熱性(エラストマー中)
- 優れた耐プラズマ性
- ゴム弾性を維持
- 半導体製造に不可欠
主な用途
- 半導体製造装置シール
- 化学プラント
- 航空宇宙
- 石油精製設備
- 製薬設備
材料選定のポイント
FKMでは耐えられない過酷な化学環境・高温環境に選択。コストは極めて高いが代替品がない用途向け。
この材料のメリット・デメリット
※ 以下は一般的な特性に基づく参考情報です。実際の性能は製造条件・使用環境により異なる場合があります。
メリット
- 最高の耐薬品性
- 最高の耐熱性
- ゴム弾性を維持
- 低アウトガス
- 耐プラズマ性
デメリット
- 極めて高価(FKMの10倍以上)
- 低温特性がやや劣る
- 入手に時間がかかる
- 成形が困難
- 限定的な供給元