PEEK-ESD (静電気対策PEEK)
Conductive PEEK / 導電PEEK
材料としての特徴
- PEEKの耐熱性・耐薬品性を維持
- 静電気散逸性を付与
- 半導体・真空装置向け
- クリーンルームグレード
主な用途
- 半導体製造装置部品
- ウェハ搬送部品
- 真空チャンバー内部品
- プラズマ処理装置部品
材料選定のポイント
高温・真空環境でESD保護が必要な場合に最適。
この材料のメリット・デメリット
※ 以下は一般的な特性に基づく参考情報です。実際の性能は製造条件・使用環境により異なる場合があります。
メリット
- 耐熱性
- 耐薬品性
- ESD対策
- 真空対応
デメリット
- 非常に高価
- 成形条件がシビア