SUS304L (真空用途 低C)
304L Vacuum Grade / UHV Stainless
規格
| JIS | SUS304L |
|---|---|
| ASTM | A240 |
材料としての特徴
- 超高真空(UHV)対応
- 低炭素で溶接部の耐食性確保
- 電解研磨で表面平滑化
- ベーキング(脱ガス)対応
- 非磁性
主な用途
- 超高真空チャンバー
- 加速器ビームパイプ
- 質量分析計
- 電子顕微鏡
- 半導体製造装置
材料選定のポイント
超高真空(10⁻⁹Pa以下)が必要な用途に。電解研磨+ベーキングで使用。
この材料のメリット・デメリット
※ 以下は一般的な特性に基づく参考情報です。実際の性能は製造条件・使用環境により異なる場合があります。
メリット
- UHV対応
- 溶接性
- 耐食性
- 非磁性
デメリット
- アウトガスあり(要ベーキング)
- 重い