高純度アルミナ (99.5%)

High Purity Alumina / 99.5% Al2O3

セラミック
ご利用上の注意
・本ページの物性値・特性情報は、JIS・ISO・ASTM等の公的規格およびメーカー技術資料を参照した参考情報です。実際の材料選定・使用にあたっては、必ず材料メーカーの公式データシートをご確認の上、専門家にご相談ください。
・本データベースは、設計・開発段階での材料比較・選定にお役立ていただけるよう、幅広い材料の物性情報を掲載しています。図面加工のご依頼やおすすめ材料のご提案は、お気軽にお問い合わせください。
※ 本ページに記載の商標は各社の登録商標または商標です。Inconel®, Monel®は Special Metals Corporation、Hastelloy®は Haynes International, Inc.、Vespel®, Kapton®, Kalrez®, Kevlar®は DuPont、Delrin®は TJC、Teflon™, Viton™は The Chemours Company、ジュラコン®は ポリプラスチックス株式会社、MCナイロン®は 三菱ケミカルアドバンスドマテリアルズ株式会社の商標です。

材料としての特徴

  • 96%アルミナより高純度・高特性
  • 半導体製造向けグレード
  • 低不純物でコンタミ防止
  • 優れた電気絶縁性
  • 研磨で高精度面可能

主な用途

  • 半導体製造装置部品
  • 真空チャンバー絶縁
  • IC基板
  • 高純度るつぼ
  • 分析機器部品

材料選定のポイント

96%では純度不足の半導体・分析向け用途に。コスト増だが特性向上。

この材料のメリット・デメリット

※ 以下は一般的な特性に基づく参考情報です。実際の性能は製造条件・使用環境により異なる場合があります。

メリット

  • 高純度
  • 高特性
  • 絶縁性
  • 研磨性

デメリット

  • 96%より高価
  • 加工困難

機械的性質

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