ゼロデュア (超低膨張ガラスセラミック)
Zerodur / Zero CTE Glass-Ceramic
規格
| Schott | ZERODUR |
|---|
材料としての特徴
- ほぼゼロの熱膨張係数
- 極めて高い均質性
- 優れた研磨性
- 長期寸法安定性
- 光学グレードの透明性
主な用途
- 天体望遠鏡ミラー基材
- 半導体露光装置ステージ
- レーザージャイロ
- 精密測定機器基準面
- 宇宙光学機器
材料選定のポイント
究極の寸法安定性が必要な精密光学・計測機器に。コスト度外視の精度要求に。
この材料のメリット・デメリット
※ 以下は一般的な特性に基づく参考情報です。実際の性能は製造条件・使用環境により異なる場合があります。
メリット
- ゼロ熱膨張
- 高均質性
- 寸法安定性
デメリット
- 非常に高価
- 加工困難
- 脆い