フッ化カルシウム (蛍石)
Calcium Fluoride / CaF2 / Fluorite / 蛍石
材料としての特徴
- 紫外~赤外の広帯域透過(0.13-10µm)
- 低屈折率・低分散
- 色収差補正レンズに最適
- エキシマレーザー光学系に使用
- 潮解性あり(湿度注意)
主な用途
- 紫外光学系レンズ
- 半導体露光装置光学系
- エキシマレーザー窓
- 赤外分光計部品
- 天文学用レンズ
材料選定のポイント
紫外~赤外の広帯域光学系に。エキシマレーザーリソグラフィの定番。
この材料のメリット・デメリット
※ 以下は一般的な特性に基づく参考情報です。実際の性能は製造条件・使用環境により異なる場合があります。
メリット
- 広帯域透過
- 低分散
- UV透過
デメリット
- 潮解性
- 柔らかい
- 熱衝撃弱い